中芯国际：2009年季度开始量产MEMS元件

　　中国中芯国际（Semiconductor Manufacturing International，SMIC）已开始提供MEMS代工服务（参阅本站报道）。这是笔者就MEMS代工业务采访该公司Director of Technology and Marketing, Silicon MEMS, Microdisplay & 3D IC负责人黄河（Herb Huang）时获悉的。（采访人：加藤 伸一）

　　——据悉，贵公司已明确了开始提供MEMS代工服务。

　　我们从通过微细化以外的方法来发展半导体的“More than Moore”的角度进行MEMS的生产。由MEMS技术将光学部件和机械部件等集成在LSI上，使LSI成为不只是电子电路的多功能器件，实现了产品的差异化。

　　——请介绍一下开展MEMS代工服务的工厂、晶圆尺寸和首批受托元件量产开始的时间。

　　将使用天津工厂支持200mm晶圆的生产线。我们的首批MEMS元件的量产预定2009年季度开始。这批MEMS元件的生产数量为月产1000片以上。

　　——委托贵公司量产MEMS元件的企业是中国国内企业还是海外企业？

　　是海外企业。目前接受中国企业的委托进行元件量产还为时尚早。比如，中国MEMSIC(无锡)现在就委托台积电（Taiwan Semiconductor Manufacturing，TSMC）在量产器件。

　　——您认为贵公司会从何时开始接受中国企业委托的元件量产？

　　或许1～2年后会开始接受中国企业委托的产品量产。而且是月产量在1000枚以上的大批次。

　　——只接受大批次产品的订单吗？

　　我们不接受研发式的委托。关于试制，根据量产时的委托条件等，虽然具有受托的可行性，但基本上很少接受。理由是我公司是拥有巨大生产设备的企业。不接受只进行试制这样的委托。

　　CMOS代工企业要从事要素千差万别的MEMS代工服务并不容易，是一项困难的挑战。不过，用不了多久我们就能证明可以量产MEMS元件。

　　——MEMS的每个器件都需要单独开发。制造工艺的开发采用的思路是什么呢？

　　目前我们针对生产线准备有MEMS制造工艺清单。采用与该清单上所列的工艺量产，制造成本会更低。如果要使用差别较大的制造工艺，我们就无法支持了。

　　2009年将筹备可支持更多MEMS制造工艺的菜单。这样，客户就可以更轻松地设计MEMS元件。

　　——大型CMOS代工厂商多半已经宣布将涉足MEMS代工服务。CMOS代工厂商研究MEMS技术的趋势今后是否仍将继续？

　　是的。今后所有的CMOS代工厂商除现有的LSI外，都将提供MEMS代工服务。将来，MEMS将不再是特殊的器件，而应是一般的、极其常见的部件。

　　CMOS代工企业要增加MEMS代工服务，就需要具备新的关键技术。我们正在与研究开发机构、IDM、无工厂MEMS企业以及设计分析工具供应商合作，积累MEMS代工服务所需要的技术。今后，将确立可以在LSI和MEMS两个领域低成本生成优良产品的企业地位。

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