机器视觉在半导体中的应用

　　机器视觉就是用机器代替人眼来做测量和判断。机器视觉系统是指通过机器视觉产品（即图像摄取装置，分 CMOS 和CCD 两种）将被摄取目标转换成图像信号，传送给专用的图像处理系统，根据像素分布和亮度、颜色等信息，转变成数字化信号；图像系统对这些信号进行各种运算来抽取目标的特征，进而根据判别的结果来控制现场的设备动作。

 

　　半导体（semiconductor），指常温下导电性能介于导体（conductor）与绝缘体（insulator）之间的材料。半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。

 

　　客户要求

 

　　经过光刻的晶圆在检测后会发现大量的坏品，坏品通常是打上标志，如果是不完整的晶片也是属于坏品。

 

　　要求把良品检测出来，并把它的坐标位置与角度传送给运动机构，再由机械结构作出进一步的调整。CCD、镜头、光源由固定座固定不需要移动。

 

　　实现方式

 

　　硬件：CCD采用台湾敏通高清晰度相机

 

　　图像采集卡采用创科视觉的PCI2100图像采集卡，随卡带有图象定位软件。

 

　　镜头使用COMPUTAR镜头

 

　　光源是环形红光

 

　　软件：采用创科视觉公司的ckvision软件开发包进行二次开发。

 

　　ckvision提供多种功能

 

　　条形码读出

 

　　轮廓识别

 

　　普通物体识别

 

　　模式匹配

 

　　斑点检测

 

　　边缘检测

 

　　表面分析

 

　　快速傅利叶转换

 

　　滤波器

 

　　坐标跟踪

 

　　目标定位

 

　　条码识别

 

　　各种图象逻辑运算

 

　　OCR光学字符号识别

 

　　图象形态分析

 

　　实现过程

 

　　因为客户需要我们提供图像方面的DLL库，只需要图象采集、打开保存、图象捕捉、显示图象、在图象上显示用户设置的检测框与十字线、提供灰度直方图、二值化功能、对象计数、对象中心和角度的输出、检测坏点、检测是否完整等功能。

 

　　开发工具采用VC6、为了加快运行速度嵌入了Intel汇编指令，为了达到更好的检测效果我们对ckvision的工具进行了部分修改。

 

　　坏点检测与是否完整检测使用具有学习功能的匹配算法，对象中心与角度的检测使用了

 

　　轮廓识别和边缘检测算法。

 

　　应用效果

 

　　目前该图象库已经得到了多家客户的使用与测试。功能已经得到了完整的改善，已经开始批量生产。