相位式光电显微镜

　　相位式光电显微镜主要用于静态瞄准，因此也称静态光电瞄准显微镜。

　　（1）结构与工作原理

　　在单管光度式的基础上加上扫描振子就构成相位式光电显微镜。图1是典型的相位式光电显微镜系统。灯泡1镜，反射镜12、分划板3组件。和聚光镜2构成照明系统，6是显微物镜组，7是刻尺，5和8是棱和目镜4组成观察瞄准系统，9是振子，10是狭缝，11是光电接收组件。

　　1一灯泡 2一聚光镜 3一分划板 4一目镜 5 8一棱镜 6一显微物镜组 7一刻尺 9一振子 lO一狭缝 II一光电接收组件 12一反射镜

　　图1 相位式光电显微镜

　　当振子以频率r扫描时，光电组件上将接收到交变的光信号，信号频率为2f（见图2）。如果刻线偏离光轴，如图2（a）、（c）所示，则得到的电信号波形将失去对称性，即T1≠T2，因而可以利用波形的对称性与否作为瞄准的判据。

　　（2）电路工作原理

　　光电扫描电路的原理分为光亮法和相位脉冲法两种。光亮法要求狭缝的宽度L、刻线影像的宽度B与影像在狭缝前振动的振幅A三者相等，并且为正弦振荡，如图2（c）所示。当狭缝中心和振动中心重合时，输出的电信号上半周和下半周的时间是相等的。

　　图2 光电信号的波形图