质检仪工作原理的检测方案

时间:2008-12-25

  生物显微镜整机性能检测中,前三项实质是测量显微镜物镜、转换器组件、棱镜组件的机械轴与显微镜光学系统光轴的几何量偏移。质检仪采用光电传感器将这些偏移通过光信号变化转换为电信号变化,然后将电信号放大、处理在仪器上显示出来,把检测值与标准的允差作比较,则可作为产品质量的判断依据。

  在整机检测粗微动滑板移动方向、聚光镜滑板移动方向与仪器光轴平行度偏差时,实质是测这两种滑板在运动过程中与显微镜光学系统光轴的偏移量。由于是动态测量,因离焦使光电接收器与光孔像面不能严格重合,因而给测量带来变值系统误差。要消除这种误差必须加入远心光路。利用电子计算机对远心光路进行数值计算,并通过研制远心物镜来实现。

  现以项,即物镜光轴对物镜螺纹轴线之同轴度(≤Φ0.03 mm)的检测为例介绍质检仪工作原理。

  图1  检测系统方框图

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