SOI晶圆拥有了较高的运算放大器

时间:2023-07-21
当模拟芯片设计师在其器件中采用绝 缘体上硅(SOI)衬底时,常常是为了扩充这些器件的高速性能。当您在位于(通常是)硅氧化物的某一深层之上的硅层中,而不是直接在晶圆的块硅上制造硅电路时,就可以减少或去除许多寄生元件,这些寄生元件是后一工艺的必然结果。凭借其面向运算放大器的VIP50工艺,NS正在另一个领域中利用上述好处,即采用SOI结构来制造精密放大器。该公司对“精密”一词的经验型定义是:在规定温度范围内的失调电压低于1mV。VIP50具有互补的4GHz PNP和NPN晶体管;一条直达SOI晶圆的SiO2层的沟道对每个有源器件都进行了完全的电绝缘。除了大幅度地降低噪声和串扰之外,该结构还除去了会引起闭锁的寄生晶体管。VIP50可在12V的电压条件下工作,并采用分离型电源,以实现简单的偏置。该工艺支持可利用激光进行修整的精密电阻器,并采用了严密匹配、无电压系数效应的隔离电阻器。NS放大器产品组副总裁Erroll Dietz把这种工艺称为“模拟级CMOS”,并指出,它具有很低的1/f噪声,因而可在非常低的频率条件下(接近DC)实现更高的准确度。


  该公司将采用相应工艺来制造几个运算放大器子系列、工作电流低于1mA的超低功耗放大器和比较器芯片以及针对2.7V~12V电压范围的精密器件。用于仪表前端的LMP7711便是一个实例。它具有200mV的失调电压,可在低至1.8V的电压条件下工作,提供了95dB的CMRR和100dB的PSRR,并在400Hz的频率条件下具有7nV/√Hz的噪声。在电流消耗刚刚超过1mA的情况下,其增益带宽乘积达到了17MHz。
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