边缘倒角和抛光

时间：2007-04-29

边缘倒角是使晶圆边缘圆滑的机械工艺（图3.23）。应用化学抛光进一步加工边缘，尽可能的减少制造中的边缘崩边和损伤，边缘崩边和损伤能导致碎片或是成为位错线的。

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