晶圆评估

时间：2007-04-29

在包装以前，需要根据用户指定的一些参数对晶圆（或样品）进行检查。图3.24列举了一个典型的规格要求。
主要的考虑是表面问题如颗粒，污染和雾。这些问题能够用强光或自动检查设备来检测出。

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