杂质从Ⅰ区向Ⅱ区扩散

时间：2007-04-29

由于As在Si和SiO₂中固溶度不一样，定义杂质在Si和SiO₂中的平衡浓度之比为分凝系数，故从Ⅰ区向Ⅱ区扩散时，As的浓度在Si/SiO₂界面处将按分凝系数m的比例进行分配。杂质在Ⅰ、Ⅱ区在的扩散方程为：

解上面的方程得出^[12]：

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