基于霍耳效应的半导体磁电转换传感器。在磁场测量以及利用磁场作为媒介对位移、速度、加速度、压力、角度、角速度、流量、电流、电功率等许多非电量测量中,半导体磁敏元件是一种重要的器件。磁敏元件分霍耳元件、磁阻元件、磁敏二极管、磁敏三极管等。主要材料有锑化铟、砷化铟、锗和硅等。这类器件的优点是结构简单,体积小,易于集成化,耐冲击,频响宽(从直流到微波),动态范围大,而且可以实现无接触检测,不存在磨损,抗污染,不产生火花,使用安全,寿命长,因此它在测量技术、自动控制和信息处理等方面有广泛的应用。
基于霍耳效应的半导体磁电转换传感器。在磁场测量以及利用磁场作为媒介对位移、速度、加速度、压力、角度、角速度、流量、电流、电功率等许多非电量测量中,半导体磁敏元件是一种重要的器件。磁敏元件分霍耳元件、磁阻元件、磁敏二极管、磁敏三极管等。主要材料有锑化铟、砷化铟、锗和硅等。这类器件的优点是结构简单,体积小,易于集成化,耐冲击,频响宽(从直流到微波),动态范围大,而且可以实现无接触检测,不存在磨损,抗污染,不产生火花,使用安全,寿命长,因此它在测量技术、自动控制和信息处理等方面有广泛的应用。
霍耳集成电路 利用硅集成电路工艺把霍耳元件和功能线路集成在同一硅片上制成的磁敏器件,分为霍耳开关集成电路和霍耳线性集成电路。霍耳开关集成电路由霍耳元件、差分放大器、施密特触发器和输出级四个环节组成。它可靠性高,工作频带宽(从直流到100千赫左右),温度性能好,易实现数字化,结构简单,体积小,耐冲击。它可作为无触点开关,如键盘开关,接近开关,行程开关,限位开关等,可检测带有磁钢或导磁体的物体直线运动时的位置和速度,因而能检测产品数量、液面、旋转体的角位移、角速度、风速、流速,也可用于磁头编码。