透明导电膜

透明导电膜(transparent conductive film，简称TCF)目前最主要的应用是ITO膜，还有其他AZO等。

 透明导电膜(TCF)在太阳能电池上主要用作电池的透明电极，有些还可同时作为减反射膜。不同透明导电膜的电学、光学以及结构等都不相同，亦对太阳能电池的光电特性和输出特性(如电池的内外量子效率、短路电流、开路电压、填充因子等)产生不同的影响。一般，在太阳能电池中对透明导电膜的要求是载流子浓度高、带隙宽度大、光电特性好、化学性质稳定、较低的电阻率、机械强度高以及优良的耐磨损性等。

ITO 薄膜是一种半导体透明薄膜，它是氧化铟锡( indium tin ox ide) 英文名称的缩写。有学者将氧化铟系列(In2O 22SnO 2)也称之为ITO 薄膜。作为透明导电电极，要求ITO薄膜有良好的透明性和导电性。所以，此类材料的禁带宽度E g 一般都大于3 eV ，其掺杂组分要偏离化学计量比。ITO 薄膜的制备方法有蒸发、溅射、反应离子镀、化学汽相沉积、热解喷涂等，但使用最多的是反应磁控溅射法[ 1，2 ]。与其它透明导电薄膜相比，ITO 薄膜具有良好的化学稳定性、热稳定性以及良好的图形加工特性。