真空电子技术是指利用真空中带电粒子的特殊性质,设计、制造和应用电子器件的一门技术。真空电子技术不仅是现代电子技术的基础和核心内容,而且已经广泛运用于通信、广播、电视、医疗、环保、工业、科学研究等领域。
真空电子技术主要包括以下几个方面:
电子器件:如三极管、二极管、场效应管、光电倍增管等,是实现电子信息处理、控制和显示的主要手段。
真空封装:为了保持真空器件内部真空度,在器件制造过程中往往需要进行真空封装。
真空脱附技术:在真空封装之前需要对被封入器件内的各种杂质气体进行清除。
真空测试技术:包括真空度测量、漏率测试等。
真空加工技术:如真空电镀、真空热处理、真空干燥等。
真空电子技术已经广泛应用于以下领域:
通信:移动通信基站天线因其发射功率大且受环境干扰小而常采用微波功率放大器,而微波功率放大器的核心就是真空电子三极管。
医疗:在医学影像处理设备中广泛使用X射线管(一种真空电子管),检测仪器也采用光电倍增管。
工业:在半导体晶圆制造和气象雷达等领域中也应用了真空电子技术。
科学研究:在粒子加速器、核聚变实验、飞行器航天探测器等高科技领域也采用了真空电子技术。