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产品属性
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产品介绍:AWM5102/AWM5104气体质量流量传感器特点: ● 各种流量接口可选 ● 文丘里管设计 ● 远程安装 ●激光校整CO2,N2 氩气的标定。
AWM5102/AWM5104气体质量流量传感器在线测量:
AWM5102/AWM5104气体质量流量传感器为文丘里流量管形外壳,可以测量*高至20 升/ 分钟,*大压降2.25”水的气流。微桥芯片直接与气流接触,大大减少了由于通气孔或旁路堵塞引起的误差。
AWM5102/AWM5104气体质量流量传感器具有坚固,通用的封装形式;
AWM5102/AWM5104气体质量流量传感器具有的坚固,塑料的封装能够承受50psi的共模压力,内部的小型传感芯片能允许100 克的冲击在额定指标下,两个测量孔是单独模件,可在*小的模具花费下根据实际更改,*式AMP 连接器提供十分*的连接。
AWM5102/AWM5104气体质量流量传感器具有内置的信号处理电路;
AWM5102/AWM5104气体质量流量传感器产品包括含放大` 线性修正` 温度补偿和气体标定,气体标定通过激光校整得到。
图1 是AWM5102/AWM5104气体质量流量传感器发热器控制电路:
图2 是AWM5102/AWM5104气体质量流量传感器传感桥电路和放大线性电路:
AWM5000系列气体质量流量传感器技术规格:
| AWM5101 | AWM5102 | AWM5103 | AWM5104 |
流量范围 | 0-5 SLPM | 0-10 SLPM | 0- 15 SLPM | 0-20 SLPM |
后缀-标定气体 | VA-氩气(Ar)VC-二氧化碳(CO2)VN-氮气(N2) | |||
| Min T* Max | |||
推荐供电电源VDC | 8.0 10&plu*n;0.01 15 | |||
功耗(mW) | 100 | |||
反应时间(mA) | 60 | |||
*点输出VDC | 0.95 1.00 1.05 | |||
*点漂移,VDC -20~70?C | &plu*n;0.050 &plu*n;0.200 | |||
*大共模压力psi | 50 | |||
温度范围 | -20~ 70?C | |||
冲击指标 | 100g 峰值,6ms 半正弦(3drops,3 的每一方向) | |||
输出@ 较整点 | 5VDC@ 满量程流量 | |||
压差@ 满量程 | 参照压力& 气流表 | |||
满量程输出漂移 20?~-25?C 20?~70?C | 后缀VA 或VN &plu*n;7.0% 读数,VC &plu*n;10.0% 读数 | |||
线性误差 | &plu*n;3.0% 读数 | |||
迟滞& 重复性 | &plu*n;0.5% 读数 | |||
连接器(4pin receptacle) | AMP(103956-3)或MICROSWITCH(SS12143) | |||
泄漏 max | 0.1psi/min,在静态中 |
注:1、AWM5102/AWM5104气体质量流量传感器供电电压除10.00&plu*n;0.01VDC 外,不*标定值。
2、AWM5102/AWM5104气体质量流量传感器线性误差适用于2-100% 满量程,但不适用0 LPM 时*输出
3、在50psi 内压下,AWM5102气体质量流量传感器每分钟泄漏小于0.1psi,如果安装时,相对于流量管的连接器被扭转,将会破坏O 形圈和流量管之间的密封,引起暂时汇漏,可*1psi,也可能在指标内,换上新O 形圈后,密封恢复,大约85% 的泄漏在24 小时内消除,48 小时内,可*恢复。
否
Honeywell/霍尼韦尔
AWM5102
流量
聚合物
半导体
集成
模拟型
3.0(%F.S.)
0.5(%F.S.)
0.5(%F.S.)