HONEYWELL AWM3300小流量带放大气体质量流量传感器

AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器是输出为1-5V 的气体质量流量传感器，图1、图2、图3 分别为AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的发热器控制电路、双传感电路、差分放大电路图。

图1AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的发热器控制电路      

图2 AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的双传感电路

3图 AWM3100/AWM3300气体质量流量传感器内部的差分放大电路图

AWM3000系列气体质量流量传感器技术规格：10.0&plu*n;0.01VDC

注：1、信号处理*初预热所须时间*多1 分钟
      2、输出电压随电源电压而比率变化
      3、差压器件的温漂主要是由气体的浓度随温度而变化
           气流器件的温漂主要是薄膜TCR 的系数的二次根及厚膜电阻的温飘，加上运放的温飘
      4、为*损坏，*大允许流量变化值：5.0SLPM/1.0 秒

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