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产品属性
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产品介绍:WM3000系列测量流量从30sccm到1000sccm,典型应用于HVAC的风门挡板控制、气体分析仪、低真空控制、
过程控制、*呼吸仪和肺活量仪、氧气供应、麻醉控制仪、气体标定。
技术信息:
WM3000系列气体质量流量传感器特点:
● 激光校整*了一致的互换性;
●测量流速可至1.0LPM 。
WM3000系列是输出为1-5V 的气体质量流量传感器,图1、图2、图3 分别为WM3000系列气体质量流量传感器内部的发热器控制电路、双传感电路、差分放大电路图。
图1 WM3000系列气体质量流量传感器内部的发热器控制电路 图2 WM3000系列气体质量流量传感器内部的双传感电路
3图 WM3000系列气体质量流量传感器内部的差分放大电路图
WM3000系列气体质量流量传感器技术规格:10.0&plu*n;0.01VDC
| AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
流量范围(span) | 200sccm | 30sccm |
| 1000sccm | ||
压力范围(psi) |
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(参照附录) |
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| &plu*n;2.0”水柱 |
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输出电压 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
@ 标定点 | 200sccm | 25sccm | 2”水柱 | 1000sccm | ||
*点电压 | 1.00&plu*n;0.05VDC | 1.00&plu*n;0.1VDC | 1.00&plu*n;0.08mV | 1.00&plu*n;0.1VDC | ||
*点漂移 |
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| ||
25~-25?C | &plu*n;25mV | &plu*n;100mV | &plu*n;25mV | &plu*n;25mV | ||
25~ 85?C |
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输出电压漂移 |
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Max |
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25~-25?C | -4% 读数 | &plu*n;5.0% 读数 | 24.0% 读数 | -5% 读数 | ||
25~ 85?C | 4% 读数 | &plu*n;5.0% 读数 | -24.0% 读数 | 5% 读数 | ||
重复性& 迟滞Max | &plu*n;0.5% 读数 | &plu*n; 1% 读数 | &plu*n;0.5% 读数 | &plu*n;1% 读数 | ||
| Min T*. | Max. |
| |||
电源(VDC) | 8.0 10&plu*n;0.01 | 15 (2) |
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功耗(mW) | 50 | 60 |
| |||
反应时间(ms) | 1.0 | 3.0 (1) |
| |||
共模压力(psi) | 25 ?C |
| ||||
工作温度 | -25~85?C |
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储存温度(?C) | -40~90?C |
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冲击(5drops,6axis) | 100g峰值(5drops,6axis) |
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注 : 1、信号处理*初预热所须时间*多1 分钟
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、差压器件的温漂主要是由气体的浓度随温度而变化
气流器件的温漂主要是薄膜TCR 的系数的二次根及厚膜电阻的温飘,加上运放的温飘
4、为*损坏,*大允许流量变化值:5.0SLPM/1.0 秒
AWM3000系列气体质量流量传感器推荐型号:
推荐型号 | 量程 |
AWM3100V | 200SCCM |
AWM3201CR | &plu*n;0.5 英寸水 |
AWM3200V | &plu*n;2 英寸水 |
否
Honeywell/霍尼韦尔
AWM3100V
流量
硅
半导体
集成
模拟型
----(%F.S.)
-----(%F.S.)
----(%F.S.)
-----
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