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产品属性
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产品介绍:AWM40000系列气体质量流量传感器包括不带放大和放大信号处理的信号。AWM42150V 和AWM42300,使用和AWM2000气体质量流量传感器
相同的电路。AWM43300V 和AWM43600V 使用和AWM3000气体质量流量传感器相同的电路。AWM43600V气体质量流量传感器为6SLPM 器件。
AWM43300V气体质量流量传感器特点:
●多个集中安装/O 形密封圈
●陶瓷流量管(无引气管),0-1000sccm
●塑料流量管(无引气管),0-6SLPM
●高共模压力(150psi)
●工作温度可至125?C
● *点和满量程高稳定性
图2 WM43300V气体质量流量传感器传感桥路供电电路
AWM40000系列气体质量流量传感器选型指南:
| AWM42150VH | AWM42300V | AWM43300V | AWM43600V | ||
流量范围(满量程) | &plu*n;25sccm | &plu*n;1000sccm | 1000sccm | 6LPM
| ||
输出电压@标定点 | 8.5&plu*n;1.5mV @25sccm | 54.7&plu*n;3.7mVDC @1000sccm | 5&plu*n;0.15VDC @1000sccm | 5&plu*n;0.15VDC @6LPM | ||
*点电压 | 0.0&plu*n;1.0 mV DC | 0.0&plu*n;1.0 mV DC | 1.00&plu*n;0.05VDC | 1.00&plu*n;0.05VDC |
| |
*点漂移 25~-25?C 25~85?C | &plu*n;0.20mV DC | &plu*n;0.20mV DC | &plu*n;0.025VDC | &plu*n;0.025VDC | ||
输出电压漂移 25~-25?C 25~ 85?C | 2.5% 读数(典型值) -2.5% 读数(典型值) | &plu*n;2.5% 读数(*大值) 6% 读数(*大值) | -5% 读数(*大值) 6%读数(*大值) | -5% 读数(*大值) 6% 读数(*大值)
| ||
重复性&迟滞 | &plu*n;0.35% 读数 | &plu*n;1.00% 读数 | &plu*n;0.5% 读数 | &plu*n;1.00% 读数
| ||
压降@ 满量程(in H2O) |
| 1.50(典型值) | 1.02(典型值) | 8.00(典型值)
| ||
| Min T*. Max. |
| ||||
电源(VDC) | 8.0 10&plu*n;0.01 15 (2) |
| ||||
功耗(mW) | 50 60 |
| ||||
反应时间(ms) | 1.0 3.0 (1) |
| ||||
共模压力(psi) | 150 |
| ||||
输出负载 | NPN(电流沉):10mA PNP(电流源):20mA |
| ||||
标定气体 | 氮气(AWM42150VH 为氢气) |
| ||||
比率变化量 | &plu*n;0.3% 读数 |
| ||||
工作温度 | -25~85C |
| ||||
储存温度(?C) | -40~90C |
| ||||
冲击 | 100g 峰值(5drops,6axis) |
|
注:1、从10%~90% 反应时间一般1 毫秒
2、输出电压随电源电压而比率变化
3、重复性和迟滞反应了测量设备的内在精度
4、*大的*损坏的流量变化量:5LPM/1.0sec
WM43300V气体质量流量传感器安装尺寸(*供参考):
否
Honeywell/霍尼韦尔
AWM43300V
流量
硅
半导体
集成
模拟型
3.0(%F.S.)
0.5(%F.S.)
0.5(%F.S.)