ASML 首台量产高数值孔径 EUV 机器的首批主要部件已交付至英特尔俄勒冈州开发工厂。英特尔预计到明年年底将收到六台机器,
ASML 昨天在 Twitter 上表示:“我们很高兴也很自豪能够向英特尔交付我们的首个高数值孔径 EUV 系统。”
英特尔首席执行官帕特·基辛格 (Pat Gelsinger) 在 2021 年接任英特尔首席执行官后不久,就获得了首批交付最新版本 ASML EUV 光刻机的权利,并承诺让英特尔恢复行业工艺领先地位。
英特尔将在 2025 年首次生产这款高 NA 机器,耗资 2.75 亿美元,届时英特尔将凭借 18A 工艺重新夺回行业技术领先地位。
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