五通道LuxtronFluorOptic测温(FOT)平台,可用于极低温和极高温传感,测温精度业界领先
美国Advanced Energy公司(纳斯达克:AEIS)为高度工程化精密电源转换、测量和控制解决方案的全球领导者——利用高集成转换器平台扩展其Luxtron FluorOptic测温(FOT)产品系列,该平台可以提供从极低温度到极高温度的高精度传感服务。
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Advanced Energy宣布推出超宽温度范围的高精度、多通道传感平台 (照片:美国商业资讯)
新型Luxtron M-1100是等离子增强半导体沉积和蚀刻制造工艺的理想之选,其工作温度下至-200°C(低温范围的起始),上至450°C(“热吸盘”温度),具有行业领先的精度(+/-0.1°C)和稳定性(+/-0.05°C)。五通道集成支持单台转换器监测多个探头,同时,灵活的通信输出简化了数字监测、更新和系统集成。
“随着半导体制造商寻求满足下一代制造工艺的复杂蚀刻和沉积要求,在扩展温度范围内进行精确监测将发挥其至关重要的作用。”Advanced Energy副总裁兼关键传感和控制产品总经理Dhaval Dhayatkar表示,“Luxtron M-1100进一步扩大了我们在高精度、基于磷光体的光纤测温方面的领先地位,并满足了客户的需求,以最大限度地减少测量支出,并支持集成监控系统。”
利用光纤探针和磷光体传感器技术,Luxtron FOT传感系统集成高性能转换器与先进的光源、光电探测器专有软件算法和低噪音放大电路。Luxtron M-1100是第一款同时提供模拟和EtherCAT通信接口的产品型号。
新型转换器通过在被监控的系统一侧实现壁挂式安装,简化其实施。在Advanced Energy全球工程团队的支持下,用户体验得到了进一步提升。这些团队与原始设备制造商合作,为领先的应用开发定制探针。
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