JEOL推出高精度和高分辨率的FIB－SEM系统“JIB－PS500i”

    JEOL Ltd. (TOKYO:6951)（总裁兼首席执行官：Izumi Oi）宣布于2023年2月1日推出FIB-SEM系统“JIB-PS500i”。

    

    FIB-SEM 系统“PS500i”（照片：美国商业资讯）
    随着先进材料结构愈发精细化和工艺愈发复杂化，形态观察、元素分析等评价技术对分辨率和精度提出了更高的要求。在半导体行业、电池和材料领域，在为透射电子显微镜(TEM)制备样品时需要“更高的精度”和“更薄的样品”。
    本产品是可高精度加工的FIB（聚焦离子束）系统和高分辨率SEM（扫描电子显微镜）的组合系统，可满足上述要求。
    主要特性
    1.FIB镜筒支持高达100nA的大电流镓离子束加工。大电流加工对制备用于大面积成像和分析的截面样品特别有效。此外，FIB镜筒的工作距离更短。加上新开发的电源，低加速电压下的加工性能得到极大的改善。
    2.SEM镜筒内置新开发的超级圆锥透镜系统，大大提高了低加速电压下的图像分辨率。这种出色的成像性能对于利用SEM检查薄片样品的端点研磨状态非常有用。
    3.JIB-PS500i采用了大型样品室和新开发的样品平台，增加了平台的移动范围，因此可以容纳大型样品。
    此外，新开发的STEM检测器可以在平台倾斜90度时使用，支持从TEM样品制备到STEM观察的无缝过渡。
    4.图形界面操作采用了在JSM-IT800系列高分辨率扫描电子显微镜中广受好评的“SEM中心”，全面集成EDS分析。
    5.双轴倾斜盒和专用TEM支架可实现更精确的对准，同时使样品更容易在TEM和FIB之间的切换。