据Digitimes网站报道,汉民微测(HMI)于1998年在美国硅谷成立,其研发团队囊括电子束(E-Beam)与影像运用方面的业界。汉民微测打破旧框架,成功开发出华人台“离子束检测机eScan”。以的跳跃式检测、及稳定的电子枪技术,提供更先进的检测设备及技术,更有效率的提升检测仪器与设备,将华人的技术层次提升进入高科技设备与零组件供应链中。目前客户已遍及美国、日本、欧洲、大陆及新加坡等地。
随著32纳米以下制程的来临,制程复杂度也日益提高,制造商必须朝零缺点的制程努力,以提升产能维持获利。汉民微测 (HMI)所自行研发的缺陷检测仪已获主要晶圆厂采用与肯定,为分享成功经验,汉民微测将于9月10日台北国际会议中心三楼举行“产能提升(Yield Enhancement Seminar 2008) 研讨会”,邀请业界权威共同分享下一代微影技术制程控制以及缺陷检测的实际案例。
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