Axcelis离子注入设备再获亚洲存储器芯片制造商订单

      半导体制造设备供应商Axcelis Technologies, Inc.日前宣布，公司再次自一家亚洲大型芯片制造商获得了一台Optima HD高剂量注入设备的订单。据悉，该设备将于今年首季度出货。

     据称，这家芯片制造商对此前采购的Axcelis的Optima HD设备的生产 性能十分满意，故此番再次发出订单，扩充产能。

      Axcelis公司董事会主席兼CEO Mary Puma表示，此番再次获得该“存储器芯片领域的制造商”客户的订单表明了公司Optima HD产品能够满足客户大规模生产环境下对产率、和成本效益的最苛刻的需求。

      据称，Optima HD拥有当前市面上最快的注入能量范围（200eV~80KeV），是能够即能满足传统该剂量注入需求、又能胜任诸如分子和氢注入等前沿应用场合的离子注入平台。Optima HD系统还采用了Axcelis的点状离子束（Spot Beam）技术，从而可为先进芯片的制造提供极大的扩展性，产率和工艺控制性能。