纳米光子学超细微加工系统研制成功

时间:2007-01-17
       由中科院理化技术研究所承担的“纳米光子学超细微加工系统”项目8月通过中科院组验收。现场加工测试结果表明,该项目研制的纳米光子学超细微加工系统最小加工分辨率小于80nm,加工定位达到10nm,加工范围达到560m,具备了良好的三维加工能力。目前这种可同时具有纳米尺度的加工分辨率和较大尺度范围的激光加工系统尚未见国内外的报道,具有创新性,在加工速度、范围及方面处于国际先进水平。本项目的研制成功,为在纳米尺度上开展以有机高分子光电功能材料为主的三维器件的研究建立了高水平的技术平台。

       纳米光子学超细微加工系统是由中科院理化所段宣明研究员负责完成的,该研究小组已成功制备了二氧化钛、硫化镉高分子纳米复合材料的三维光子晶体,观测到其光子晶体带隙,并在光子晶体激光器的激射行为研究方面获得进展,为微纳尺度光子学器件研究打下了较好的基础。

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