与He-Ne激光器相比，CO2激光器的触发电压和工作电压更高，工作电流也大。因此，对构成电源的每个元器件的耐压能力和功率容量的要求可能超过容许值。而晶体管的耐压能力较差，常常需要串联使用。

　　上图中，电路包含电子管U1、晶体管T1及电阻R1，另外附加电流放大器T2，改变T2基极电位，可以对整个电源的输出电流进行调节。该稳流电源中，电子管阳极供电电压为1.5V~15kV，输出电流可达100μA~50mA。由于输出功率较大，采用三相供电，经自耦变压器、变压器、整流器和滤波器来获得所需直流高压。