GBT 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

时间：2014-06-23

　　本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。

　　本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出并归口。

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