图对DRAM单元结构进行了较为详细的描述,这是平面式的基本的结构,在1MB的DRAM占据主导地位之前一般都是这样结构的单元。与刚才的图相比较更容易理解,图的左侧为FET部分,右侧为电容器部分。氧化膜为电介质,多晶硅为电极,从而形成电容器。
图 DRAM的单元结构
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