人造石英晶体的特性品质

时间:2007-09-19

1.材料特性
  人造石英晶体具有的压电效应,广泛地应用于制造频率选择及频率控制元件,如石英谐振器、钟表振荡器滤波器声表面波滤波器等。

2.材料品质
2.1旋向
除非另有规定,一般均为右旋。
2.2双晶
可用区域内不允许存在电学或光学双晶。
2.3包裹体
可用区域内每1cm3允许的包裹体大小和数目如下:
尺寸           数目
30-70μm           8颗
70-100μm          4颗
100μm or bigger        1颗

2.4Q值
按照IEC758.V.2有关规定,Q值以红外线α-3585值测定换算。VCEC产品的Q值一般作如下A、B、C分级:
A  α-3585=0.024Max. Q=3.0×106Min.
B  α-3585=0.050Max. Q=2.4×106Min.
C  α-3585=0.069Max. Q=1.8×106Min.

2.5品质控制
2.5.1 Q值:以高压釜上中下三个不同生长区抽取的晶棒样品测试确定。
2.5.2 腐蚀隧道:在40倍显微镜下检查测知。
2.5.3 包裹体:将水晶棒浸过茴香油后,在强光下用肉眼逐根检查。

2.6种子取向及尺寸
2.6.1种子取向
2.6.1.1 除非另有规定均为0°00′。
2.6.1.2 X面与Z轴的角度偏差:≤ ±15′。
2.6.1.3 Z面与X轴的角度偏差:≤ ±15′。
2.6.1.4 X面与Y轴的角度偏差:≤ ±15′。

2.6.2种子尺寸
2.6.2.1 Y棒种子:Z=2.5mm Max;X=3.5mm Max。
2.6.2.2 Z棒种子:Z=2.5mm Max;厚度

3.精磨棒材的标准
3.1尺寸公差
X方向:±0.2mm Max。
Z方向:±0.2mm Max。

3.2棒材表面角度偏差
Z面与Y′轴:±15′Max。
Z面与X轴: ±15′Max。
X面与Z′轴:±15′Max。
X面与Y′轴:±15′Max。

3.3籽晶的平行中心位置
籽晶应位于晶棒中心的3mm阴影区内。

3.4表面处理及平整度
表面处理:GC80#Max。
平整度:0.05mm Max。


  
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