集成电路版图设计通常是由集成电路中晶体管版图开始的,而该晶体管版图通常是面积晶体管的版图。因此,掌握什么是面积晶体管,其版图是如何确定的非常重要。另外,掌握集成电路制造中常用的各种晶体管版图及其对应的工艺剖面结构也是十分重要的。面积晶体管--由图形尺寸(图形线宽和图形间距)构成的晶体管。
如图18.21(p.356)所示的面积晶体管,隔离框内管芯面积为6064μm2,如果槽宽为10μm,则每个晶体管所需隔离槽面积为3800μm2,每条隔离槽为两相邻隔离岛共用,所以每个面积晶体管所需的隔离槽面积为1900 μm2 ,大约为内管芯面积的1/3~l/4。
351页,18.2.2节5. 双极型IC中元件的图形设计
按标准pn结隔离工艺制作的纵向npn管的纵向结构和杂质分布如图A所示。图中作为集电区的外延层掺杂浓度由晶体管的VCB0和VCE0所决定,外延层电阻率是决定晶体管集电结势垒电容Cc、硼扩电阻分布电容和隔离衬底结寄生电容Ccs的重要因素,对电路速度影响较大的Ccs部分地由衬底电阻率决定。埋层的薄层电阻和埋层扩散深度直接影响到集电极串联电阻rcs。由发射区扩散和基区扩散决定了电流放大系数和特征频率。
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