半导体制造概述

在电子学中半导体器件已经被使用很久了。在19世纪末期个固态整流器就被开发出来了。1907年发明的方铅矿晶体检波器被广泛的用来制作晶体收音机。到1947年，在充分理解半导体物理的基础上，Bardeen和Brattain都制作出了只双极型晶体管。1959年，Kilby制作的块集成电路，从此揭开了现代半导体制造时代的序幕。

制造大量的可靠的半导体器件的障碍本质上来说主要是技术性而不是科学性的。对于制作材料的严苛的纯净度和尺寸的控制的要求使得早期的晶体管和集成电路无法发挥他们应有的潜能。早期的器件还不如说是实验室好奇心的产物。大量生产需要的是一种全新的技术，且这种技术还在不断的快速进步。

本章将简单的整体阐述现代集成电路生产的工艺技术。第3章讨论生产特殊型号的模拟集成电路的三种具有代表性的工艺。