MEMS传声器具有数字输出功能

Akustica公司的设计师们称：AKU2000是首款CMOS MEMS直接数字输出、单芯片传声器。该公司从卡内基梅隆大学获得了该技术的使用许可（它相信此项技术得到了全面的保护），使其能够采用标准CMOS工艺的金属化层来制作MEMS，以形成构成传声器的传感元件的隔膜。由于该技术为标准的CMOS，因此，该公司可将一个输出放大器和4阶Δ-Σ调制器做在同一块芯片上。与其迫切希望取代的技术（驻极体电容传声器）不同，该芯片可采用标准的流体焊接工艺进行表面安装。它需要一个1MHz~4MHz的时钟输入，工作电压范围为2.8V~3.6V，工作电流低于750μA。Akustica公司设计了用于在PCB的反面进行再流焊的4mm×4mm封装。虽然该电路板必须具有一个与芯片上的隔膜开口对齐的通孔，但是，这种布置简化了组件与外表面的隔绝。输出是一个脉冲密度调制串行位流。Akustica公司利用一个掩码来定义芯片的频率响应，该掩码在200Hz~6kHz的范围内将频响规定为±3dB。
虽然蜂窝电话是一个规模更大的潜在市场，但Akustica公司的目标市场却是膝上型/笔记本电脑，因为它认为：标准的驻极体电容传声器在该领域有着更加深厚的用户基础，进军该市场的更好时机应该是在产品价格进一步降低之后。由于具有一个数字输出，因而使得AKU2000引起了膝上型/笔记本电脑（还有那些工作于相似物理格式的设备）设计师的极大兴趣。驻极体的高阻抗和低信号电平令其非常容易遭受电噪声的影响：由于很难通过膝上型电脑的绞链来进行屏蔽布线，因此传声器常常布设在机器的主板上，距机械噪声源（HDD和风扇）很近。数字输出不仅克服了该问题，而且，把2个或4个传声器安装在一个屏蔽框架上也变得可行了。设计师可把它们作为一个小型阵列而用在一个高灵敏度区域中（用户将位于该区域），以对总声学响应曲线进行整形，并完全消除来自其他位置的噪声。