应用材料公司平面显示事业部AKT近日宣布推出批在的8.5代(2.2米x~2.5米)玻璃
基板上制造大尺寸
LCD电视屏幕的平面显示器生产系统。全新设计的AKT-55K EBT (
电子束检测),AKT-55K PECVD(等离子加强化学气相沉积)和AKT- NEW ARISTO™ 2200彩色滤光板溅射系统在8.5代基板上实现了制造6块55英寸LCD电视屏的高效率生产。
新的8.5代基板将会对TFT*-LCD电视市场的增长做出贡献,市场研究机Display Search预测该市场将在2006年突破4000万台。应用材料公司新业务新产品事业部和AKT事业部资深副总裁兼总经理Mark Pinto表示“应用材料公司通过其AKT事业部向客户提供个性化的产品、技术以及的服务支持,不断帮助他们降低平面显示器生产成本。通过起始的
晶体管成型PECVD(等离子加强化学气相沉积)技术、和随后的电子束检测技术、以及现在所从事的彩色滤光溅射薄膜技术的开发,应用材料公司不断提升其在平面显示设备行业中的地位。结合我们在大面积处理工艺上的地位和纳米制造技术上的优势,这些新产品让我们站在了显示设备行业的前沿,并使我们能够向客户提供高产能、低成本、和高可靠性的新一代制造技术。”
AKT-55K EBT(电子束检测)系统具有业界快的像素检测技术和的总体运行成本。该系统运用7个电子束提供快速的像素矩阵检测。无接触式的检测技术确保在测试昂贵的LCD电视面板时不会损坏或划伤表面。
AKT-55K PECVD (等离子加强化学气相沉积)系统运用了已被验证的多腔体平台结构和技术,该技术使得AKT在过去13年中成为平面CVD(化学气相沉积)设备的。AKT-55K系统对于介电薄膜(SiNx, SiOx 和 SiON)及半导体薄膜(a-Si 和 掺杂了的 a-Si)作了优化,这使得它每小时可以处理超过60片单层薄膜基底。
AKT-NEW ARISTO 2200是用于彩色
滤光片制造的具有产能和靶材利用率的全自动垂直溅射系统。它基于源自Applied Films的NEW ARISTO系统概念,采用创新的低缺陷高成品率平面阴极设计,提供了业界的生产能力。