美国模拟器件公司(ADI)日前发布了
3轴运动检测微机电系统(MEMS)技术。该3轴iMEMS(集成MEMS)Motion Signal Processing技术能将包含薄的、鲁棒性运动
传感器和先进的信号调理电路的非常小的低功耗3轴(XYZ)加速度计集成在一颗低功耗芯片上。带有2轴和3轴MEMS运动传感器的移动电话和其它便携式设备都能对位置、方向和运动做出智能地响应。对于要求产品使用方便并且比较有趣的客户，现在可以通过手势而不是复杂的键盘来控制。其应用范围覆盖各种可能的应用，从游戏机
接口、交互式地图和步数器到很少见的功能，例如保护对冲击敏感的部件(硬盘
驱动器)以及通过智能管理功耗功能延长
电池寿命。
ADI公司副总裁兼微机械产品部总经理Bill Giudice表示：“在1998年，ADI公司曾经率先推出了用于消费类产品运动和倾斜检测的ADXL202，它是个用于视频游戏控制器的低g单芯片双轴加速度计，现在ADI公司的iMEMS Motion Signal ProcessingTM技术可用于包括网络计算机、蜂窝电话、健康设备和运动设备等整个消费类应用。”
通过将设计和制造技术与经过现场的iMEMS技术相结合，3轴加速度计具有能够同时检测X,Y和Z轴加速度创新的MEMS传感器结构并且在一颗芯片上集成了带有先进的信号调理电路的传感器。自从1993年以来，采用ADI公司的iMEMS技术已经生产出1.8亿片加速度计，从而证明了ADI公司对大批量消费类产品OEM客户易变要求的快速反应能力。低g加速度计发展路线图满足了便携式消费类设备对减小
印制电路板(PCB)面积，降低功耗，提高冲击灵敏度和提高温度稳定性的要求，首款3轴加速度计产品采用小型4mm×4mm×1.45mm容易使用的面贴封装。
自从ADXL202推出以来，ADI公司为特别注意价值的消费类市场不断优化低g运动信号处理技术。其中2轴ADXL311加速度计是用于大批量产品(例如笔记本计算机)的首款MEMS加速度计。在2004年，2轴ADXL320加速度计为多种便携式应用建立了新的标准，它实现了小型薄封装、低功耗和超高性能的完美结合。随着对2轴运动和倾斜检测的不断发展，3轴检测加速度计由于会更进一步扩展设计工程师的选择必将加速MEMS技术的广泛采用。
