微型光机电系统的英文缩写是“MOEMS”，它是微光学、微电子、微机械的结合产生出一类新的应用范围很广的器件。MOEMS日益成为新的光学工具，已经对许多基于光学的仪器显示出应用前景。
1959年，1965年诺贝尔物理学奖获得者Richard P Feynman提出微型机械的构想。
1962年，硅微型压力传感器问世，之后50～500微米的齿轮，齿轮泵，气动涡轮及联接件等微系统问世。
1966-1972年，基本的微加工技术发展，制造出微机械元件。
1988年，加州大学伯克利分校制造出60-12微米直径的硅微型静电机。
1980年代，硅微加工技术迅猛发展，利用牺牲层腐蚀技术获得了微可动机构。
1、生产中的特点
MOEMS可以实现大批量生产。由于采用了集成电路芯片的生产技术，MOEMS芯片本身的封装已经达到了高度的集成化，其生产成本也大幅度降低。
2、结构上优势与特点
MOEMS的体积非常小，尺寸小至几微米，大也不过几毫米；响应速度在100ns～1s的范围内；其可动结构通常由静电致动，致动能为CV2／2；其结构可以做到相当复杂，包含元件数目达到1个～106个。
3、动作上特点
通过精确的驱动和控制，MOEMS中的微光学元件可实现一定程度或范围的动作，这种动态的操作包括光波波幅或波长的调整、瞬态的延迟、衍射、反射、折射及简单的空间自调整。上述任何两、三种操作的结合，都可以对入射光形成复杂的操作，甚至实现光运算和信号处理。
1.在民用领域的应用： 光通信 数字图像获取 显示与处理 IT外围设备 环境保护 自动化生物医疗装备 工业维护 2.在军事领域的应用： 光束灵活控制（STAB）系统 光学微型网络 超大规模集成光学 3.在空间的应用： 光通信 光遥感
MOEMS技术发展的历史并不长，但这是一项学科交叉性和综合性都很强，且极具发展潜力的高新技术。随着微机械加工技术在MOEMS器件中的应用，既可以带动一些重要的基础课题研究，又可以带动大量概念全新的功能部件开发，可以相信，更加成熟的MOEMS器件在不远的将来会得到更加广泛的应用。
