霍尔效应测量系统

特性

　　1、可靠的精度及重现性

　　恒电流源(1nA~20mA)采用六级电流范围设置，将可以接收的误差降到；范德堡法则转换使用非接触装置有效降低仪器噪声；软硬件有针对性的设计，确保每个实验数据均为多次测试的平均值，使仪器拥有非常好的数据重现性。

　　2、产品小型化及操作简单化

　　小尺寸的磁场强度输入系统使用永磁体和液氮低温测量系统(77K)，确保仪器操作非常简单；两种不同尺寸的传统样品板(20*20mm、6*6mm)及带弹簧夹片的样品板(SPCB)，使得不同尺寸不同材料的薄膜样品更容易测量，区别于传统样品板的弹簧夹片样品板使得霍尔电极制作更方便且对样品损伤更小。

　　3、I-V曲线及I-R曲线测量

　　采用图表的方式，测量探针四点(A、B、C、D)间电流-电压及电流-电阻关系，并以此评判样品的欧姆接触好坏、了解样品的基本的电学特性。

　　4、多样的实验结果

　　实验结果由软件自动计算得到，可同时得到体载流子浓度(Bulk Carrier Concentration)、表面载流子浓度(Sheet Carrier Concentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(Hall Coefficient)、磁致电阻(Magnetoresistance)、电阻的纵横比率(Vertical/Horizontal ratio of resistance)等等。

参数

　　电流源:

　　测量范围: 1nA - 10 mA

　　输出电压: +/- 10V (+/-20V)

　　输出电阻: typical 1013 Ohms

　　电流分辨率: 25 pA

　　电压测量：

　　测量范围: 10 mV - 10V（自动量程选择）

　　分辨率 : <500nV

　　输入电阻: > 1013 Ohms

　　磁场范围：0.45T~2T（牛津磁体）；

　　电阻测量范围: 1x10-3 Ohm - 1x109 Ohm

　　电阻率测量范围: 1 x10-5 Ohm*cm - 1x107 Ohm*cm

　　载流子浓度范围: 107 cm-3 - 1021 cm-3

应用

　　霍尔效应测量系统用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数，而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的，因此霍尔效应测试仪是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性必备的工具。