场发射扫描电子显微镜

基本介绍

    场发射扫描电子显微镜（FESEM）具有超高分辨率，能做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。 具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。

技术参数

    1、分辨率

    2、放大倍数

    3、加速电压

    4、低压范围

    5、探针电流

    6、样品室

    7、样品台

    8、倾斜角

主要用途

    适用于对金属、陶瓷、半导体、矿物、生物、高分子、复合材料和纳米级一维、二维和三维材料的表面形貌进行观察（二次电子像、背散射电子像）； 可进行微区的点、线、面成分分析； 指定元素在形貌上成象； 晶体材料的晶体取向及微区取向分析、结构分析、正反极图、欧拉空间分析等； 图象定量分析。

仪器类别

    0304070201 /仪器仪表 /光学仪器 /电子光学及离子光学仪器 /扫描式电子显微镜

指标信息

    二次电子图像（SEI） 分辨率1.5nm

    背散射电子图像（BEI) 分辨率3.0nm

    X射线能谱仪（EDS） 分辨率128ev 分析范围B5～U92

    电子背散射衍射（EBSP）空间分辨率 0.5μm 采集时间 20ms～2s/每菊池图

    数字图像采集系统 分辨率512×384pixe1 1024×768