扫描干涉仪,是使法布里-珀罗标准具(见法布里-珀罗干涉仪)两反射面间的光程连续地改变(扫描)的仪器。
scanning interferometer 使法布里—珀罗标准具(见法布里-珀罗干涉仪) 两反射面间的光程连续地改变(扫描)的仪器。它的两种典型结构,一种是把准具置于真空室中,用调节真空室的气压去改变折射实现扫描,另外一种是把标准具置于封的真空室中,利用改变施加到电致伸缩元件上的电去调节两反射面的间隔,实现扫描。