微惯性传感器（micro inertia sensor）是由微加速度计(Microaccelerometer)和微陀螺仪(Microgyroscope)组成的器材。
微加速度计原理和结构
微加速度计最典型的原理是：以一个质量块作为敏感部件，当载体有某一方向的加速度时，质量快向一个方向偏移，然后通过电极测量这个位移量（或产生偏移的惯性力）换算为加速度
按位移量（或产生偏移的惯性力）的测量方法分类有：压阻式加速度计、电容式、隧道电流式、谐振式、热传感式。
MEMS 陀螺仪（gyroscope）的工作原理
传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理，因此它主要是一个不停转动的物体，它的转轴指向不随承载它的支架的旋转而变化。但是 MEMS 陀螺仪（gyroscope）的工作原理不是这样的，因为要用微机械技术在硅片衬底上加工出一个可转动的结构可不是一件容易的事。MEMS 陀螺仪利用科里奥利力——旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。下面是导出科里奥利力的方法。有力学知识的读者应该不难理解。在空间设立动态坐标系。用以下方程计算加速度可以得到三项，分别来自径向加速、科里奥利加速度和向心加速度。
