高精度位移传感器又称为高精度线性传感器，它分为电感式高精度位移传感器，电容式高精度位移传感器，光电式高精度位移传感器，高精度位移传感器超声波式高精度位移传感器，霍尔式高精度位移传感器。电感式高精度位移传感器是一种属于金属感应的线性器件，接通电源后，在开关的感应面将产生一个交变磁场，当金属物体接近此感应面时，金属中则产生涡流而吸取了振荡器的能量，使振荡器输出幅度线性衰减，然后根据衰减量的变化来完成无接触检测物体的目的。
1.按运动分类型
直线高精度位移传感器和角度高精度位移传感器
2.按材料分类
a.金属膜高精度位移传感器b.导电高精度位移传感器c.光电式高精度位移传感器d.磁敏式高精度位移传感器 e.金属玻璃铀传感器f.绕线式高精度位移传感器g.电位器高精度位移传感器
3.广义分类
A 机械式 B 接近式 电容式，涡流式，霍尔效应式，光电式，热释电式，多普勒式，电磁感应式，微波式，超声波式 C 转速式 一般有光电式 D 多普勒式 E 液位式 浮子式，平衡浮筒式，压差电容式，导电式，超声波式，放射式 F 流量及流量式 电磁式，涡流式，超声波式，热导式，激光式，光纤式，浮子式，涡轮式，空间滤波式 G 激光位移式
1.机械高精度位移仪
原理：磁尺与磁头之间产生相对位移时，磁头的铁芯使磁尺的磁通有效地通过输出绕组，早绕组中产生感应电压。该电压随磁尺磁场强度周期的变化而变化，从而将位移量转换成电信号输出。磁头输出信号经检测电路转换成电脉冲信号并以数字形式显示出来。 应用：主要用于大型机床和精密机床作为位置或位移量的检测元件。优点为：结构简单，使用方便，动态范围大和磁信号可以重新录制。缺点为：需要屏蔽和防尘。
2.高精度转速仪
a.磁电式转速传感器 当转轴旋转时，磁盘的凹凸齿形将引起磁盘与磁铁间气隙大小的变化，从而使磁铁组 成的磁通量随之发生改变。感应线圈会感应出一定幅度的脉冲电势，其频率为：. 可由频率得知被测物的转速 ，在配上数字电路，便可直接读出被测物的转速。 b.光电式转速传感器 从光源发射的光，通过开孔盘和缝隙照射到光敏元件上，使光敏元件感光，产生脉冲信号，送到测量电路计数，测得转速。现多采用开缝隙盘式光电转速传感器结构。为光脉冲电路。
3.高精度多普勒仪
多普勒效应：发射机与接收机之间距离发生变化，则发射机发射信号的频率与接收机接收到信号的频率就不同。被测物体的运动速度v可以用多普勒频率来描述。发射信号和接收到的回波信号经混频器混频，两者差频输出，差频的频率正好为多普勒频率。
4.高精度流速仪
a.高精度电磁式 在励磁线圈加上励磁电压后，绝缘导管便处于磁力线密度为B的均匀磁场中，当导电性液体流经 绝缘导管时，电极便会产生如下式的电动势：可通过对电动势的测定，求出容积流量。 b.高精度涡轮式 叶片旋转时，磁阻将发生周期性的变化，从而使线圈中感应出脉冲电压信号。该信号经放大，整形后输出，作为检测转速用的脉冲信号。
5.高精度数字位移传感器
激光高精度位移传感器在测量微米甚至纳米级运动、振动、位移参数时用途较为广阔，它通过激光发射器每秒发射一百万个激光脉冲到检测物并返回至接收器，处理器计算激光脉冲遇到检测物并返回至接收器所需的时间，以此计算出距离值，该输出值是将上千次的测量结果进行的平均输出。激光分析法适合于长距离检测，测量精度相对于激光三角测量法要低，测量被测物的位置、位移等变化，主要应用于检测物的位移、厚测量。真尚有激光高精度位移传感器原理分为激光三角测量法和激光回波分析法,激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量，而激光回波分析法则用于远距离测量。另外，模拟量与开关量输出可独立设置检测窗口。ZLDS10X激光三角测量法原理是激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面，体反射激光通过接收器镜头，被内部的CCD线性相机接收，根据不同的距离，CCD线性相机可以在不同的角度下“看见”这个光点。根据这个角度及已知的激光和相机之间的距离，数字信号处理器就能计算出传感器和被测物体之间的距离。同时，光束在接收元件的位置通过模拟和数字电路处理，并通过微处理器分析，计算出相应的输出值，并在用户设定的模拟量窗口内，按比例输出标准数据信号。如果使用开关量输出，则在设定的窗口内导通，窗口之外截止。激光高精度位移传感器采用回波分析原理来测量距离以达到一定程度的精度。传感器内部是由处理器单元、回波处理单元、激光发射器、激光接收器等部分组成，因此为高精度特制数字位移而设计。
