加速器质谱分析原理是，放射性同位素原子被电离后，在加速管中被加速至数兆或数十兆电子伏高能，然后通过选择和鉴别，直接测量目标同位素原子数。AMS不仅灵敏度高，需样量少，同时所需测试时间也少。
加速器质谱分析（acceleratormassspectrometricanalysis，AMS）：加速器质谱分析原理是，放射性同位素原子被电离后，在加速管中被加速至数兆或数十兆电子伏高能，然后通过选择和鉴别，直接测量目标同位素原子数。AMS不仅灵敏度高，需样量少，同时所需测试时间也少。以14C为例，仅需零点几克碳，测量时间半个小时左右。用于极地冰14C年龄测定，直接测定冰气泡中14C，可以建立长时期内冰的时标。若采用传统衰变计数法，则需冰样3吨，而用AMS，只需100微克碳，即10千克冰样即可，可测年龄35000年。
用于植物微化石测年，湖积物中植物微化石研究是研究更新世古气候的重要途径，但样品少，传统衰变无法测定，用AMS仅需样品0.5～3毫克，大大促进了这方面研究。用于测定海洋底柄有孔虫和浮游有孔虫化石14 C浓度差，探讨古海洋14 C浓度变化，深海水循环速度。
