结构型传感器是以结构(如形状、尺寸等)为基础,利用某些物理规律来感受(敏感)被测量,并将其转换为电信号实现测量的。例如电容式压力传感器,必须有按规定参数设计制成的电容式敏感元件,当被测压力作用在电容式敏感元件的动极板上时,引起电容间隙的变化导致电容值的变化,从而实现对压力的测量。又比如谐振式压力传感器,必须设计制作一个合适的感受被测压力的谐振敏感元件,当被测压力变化时,改变谐振敏感结构的等效刚度,导致谐振敏感元件的固有频率发生变化,从而实现对压力的测量。
基于某种结构的变换的传感器。比如电容压力传感器。利用物理学中场的定律构成的,包括动力场的运动定律,电磁场的电磁定律等。物理学中的定律一般是以方程式给出的。对于传感器来说,这些方程式也就是许多传感器在工作时的数学模型。这类传感器的特点是传感器的工作原理是以传感器中元件相对位置变化引起场的变化为基础,而不是以材料特性变化为基础。
物理型传感器是利用物质定律构成的,如胡克定律、欧姆定律等。物质定律是表示物质某种客观性质的法则。这种法则,大多数是以物质本身的常数形式给出。这些常数的大小,决定了传感器的主要性能。因此,物理型传感器的性能随材料的不同而异。例如,光电管就是物理型传感器,它利用了物质法则中的外光电效应。显然,其特性与涂覆在电极上的材料有着密切的关系。又如,所有半导体传感器,以及所有利用各种环境变化而引起的金属、半导体、陶瓷、合金等特性能变化的传感器,都属于物理型传感器。
是基于转换元件的某一结构参数发生改变实现信号转换的传感器。比如:应变电阻式传感器(应变片的尺寸发生改变)、电感式传感器(变间隙或变面积等)、电容式传感器(变间隙或变面积等)以及磁电式传感器等。
是基于转换元件的物理特性发生变化而实现信号转换的传感器。比如:压阻式传感器(压阻效应,压阻系数改变)、光电式传感器(光电效应,光子轰击引起物体电阻率改变)、压电式传感器(压电效应)、热电式传感器(热电效应)等。