电容式位移传感器

电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器。

简介

具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外,还具有信噪比大,灵敏度高,零漂小,频响宽,非线性小,精度稳定性好,抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所,高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用,成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。

应用范围

  主要用于解决下述各种测量问题:
  压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。

性能

  电容式位移传感器的电容器极板多为金属材料,极板间衬物多为无机材料,如空气、玻璃、陶瓷、石英等;因此可以在高温、低温强磁场、强辐射下长期工作,尤其是解决高温高压环境下的检测难题。
  该传感器还可与控制室中的二次仪表或控制器相连,在线、连续、实时的检测各种数据然后直接显示,远程控制和报警。实现数据存储,积算、传输和控制功能。广泛应用于各种注塑机中。
  电容式位移传感器尤其适合缓慢变化或微小量的测量,一般来说采用电容式传感器进行检测比较适宜。电容式位移传感器的这些性能必然促使其应用范围越来越广泛。

主要特点

量程:20~1250μm;
分辨率:<0.1nm;零磁滞;
线性0.02%;
频带可调:50~5000Hz;
灵敏度可调:5~125μm/V;
真空兼容选项;
非接触式测量方法;

相关百科