超纯水是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质、金属离子，更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物。就是运用预处理——吸附杂质、氧化物，反渗透——在进水(浓溶液)侧施加操作压力以克服自然渗透压，当高于自然渗透压的操作压力施加于浓溶液侧时，水分子自然渗透的流动方向就会逆转，进水(浓溶液)中的水分子部分通过膜成为稀溶液侧的净化产水。可清除源水中的细微杂质、胶体、有机物、重金属、可溶性固体、细菌、病毒、热源和其它有害杂质，仅仅保留水分子和溶解氧，有效去除率高达99%。离子交换——运用离子交换树脂的置换和游离，使得Na+与H+互换位置，这一变化，就称为离子交换。同理，阴树脂置换出OH-，从而生产H2O。去除残余的离子。以及运用紫外氧化杀菌、降解TOC和终端修饰等手段获得更纯净的超纯水。
传统的纯水方法不能制备出超纯水，化学意义上纯水(液态的H2O)的理论电导率为18.3MΩ.cm。人们生产的纯水是达不到理论值的，但18 MΩ.cm似乎是可以达到的，对于这种水，有的称为高纯水，有的称为超纯水，目前还没有系统的定义。也没有划分等级界限，从商业观点看叫超纯水似乎比高纯水更好听一些。笔者以为还是看电导率指标更准确一些。
邻菲罗啉(又称邻二氮杂菲)是测定微量铁的一种较好试剂，在pH=1.5～9.5的条件下，Fe2+与邻菲罗啉生成很稳定的橙红色的络合物。在显色前，首先用盐酸羟胺把Fe3+还原为Fe2+：4 Fe3++2NH2OH═4 Fe2++N2O+H2O+4H+。测定时，控制溶液酸度在pH=2～9较适宜，酸度过高，反应速度慢，酸度太低，则Fe2+水解，影响显色。Bi3+、Ca2+、Hg2+、Ag+、Zn2+离子与显色剂生成沉淀，Cu2+、Co2+、Ni2+离子则形成有色络合物，因此当这些离子共存时应注意它们的干扰作用。电厂水质监测中对铁离子含量小于20ppb，实验室超纯水机对二价和三价的金属离子去除率是很好的，一般做到5ppb以下肯定没有多大问题。
① 动、植物细细胞培养用水
② 各种医疗用生化仪、分析仪、血液透析仪用水
③ 分析试剂及药品配置稀释用水
④ 生理、病理、毒理学实验用水
⑤ 医院、医药制剂室及中心实验室用纯化水和高纯水
⑥ 原子吸收光谱用水
⑦ 试管婴儿用水
⑧ 各种高效液相色谱、离子色谱用水
⑨ 其他各种实验室用水和医药用水。
⑩在半导体中的应用：半导体原材料生产加工、检测和半导体器件的制备用水。
1、采用离子交换方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
2、采用两级反渗透方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、采用EDI方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
