SNU白光干涉仪,显微镜干涉仪

品牌:韩国SNU 型号:SIS 1200 测量范围:X:150mm Y:100mm

产品介绍

白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,，为韩国SAMSUNG**指定供应商，LPL友好俱乐部成员，清华大学，台湾大学，*尔大学友好合作伙伴。

产品特点

1、非接触式测量：避免物件受损。
2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以*0.1nm。
5、*数字信号处理器：实现测量*需要几秒钟。
6、扫描仪：采用闭环控制系统。
7、工作台：气动装置、*震、*压。
8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。

技术参数　

机型		SIS 1200
工作台	尺寸	250 mm×174 mm
	倾斜度	&plu*n;3°
测量行程		X:150mm Y:100mm
Z轴行程		50mm
运动方式		手动
扫描速度		30μm/sec
垂直分辨率		0.1nm
CCD		黑白CCD，640×480像素
物镜安装架		手动导引五孔式
镜头选配		镜头：5×、10×、20×、50×

应用领域:1、TFT产业2、半导体3、MEMS4、高校科研5、精密加工

供应SNU白光干涉仪,显微镜干涉仪