可根据客户要求*:以下参数*供参考。
1. 氧化层硅:标准SiO2层厚度300nm,500nm,其它厚度可根据客户要求*
2. 氮化硅片:表面100nm厚度氮化硅SiN层,其他厚度可据客户要求*
3 SOI(Silicon-on-insulator)*缘硅(顶层单晶硅-*缘氧化埋层-硅衬底)
可采用键合工艺也可采用注氧工艺,同时可接
受*工艺的*服务,*大的满足客户的要求。
质量保障:
-- 生产工艺*按照SEMI标准
-- 每步工艺有严格监控
-- 产品质量属于*级别
-- 批量生产
-- 供货周期快速,*需一周