双频激光干涉仪ZLM700
地区：上海 上海市
认证：
无
图文详情
产品属性
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在德国，耶拿地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔（JENAer）公司生产的ZLM700双频激光干涉仪在同类产品中，由于具有*的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理，德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪是真正意义上的双频干涉仪，并非单频干涉原理。
产品功能 定位精度、重复定位精度、位移距离测量、速度加速度测量、线性度、直线度、垂直度、平面度、偏摆角、俯仰角、滚动角、角速度、圆形轨迹、微振动测量，还能够测量数控机床回转台的定位精度和重复定位精度等，从而实现定位、校准、控制和补偿。ZLM700主要用于单轴系统的校准和测量，广泛应用于*动态*工艺中的机械定位和系统控制。 性能优势
l 真正意义上的双频激光干涉仪，频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”的区别。众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商，德国耶拿尔公司是其中的一家。
l *部件皆在德国生产制造，*非为了降*而在第三方*进行部件*。光学组件*采用蔡司光学镜，是世界上*一家将顶级的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l 测量系统采用模块化设计，各种测量功能之间互不影响。若用户先期*要干涉仪的部分功能（如*测量直线度），则*采购所需功能部分的光学部件（直线度光学镜），其他不需要的功能暂时可以不采购；若后期有其他功能的需求，补充采购功能对应的部件即可。
l 激光器寿命更长，可达20000小时，激光稳频精度高，一小时内为±0.002ppm，在产品寿命内可达±0.02ppm。
l 干涉镜采用差分干涉原理，系统精度更高，可达±0.4ppm。
l 计算机辅助光路调整，调整结果更准确。
l 采样频率更快，**1MHz，可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l 被测物体*大速度16m/s（可选）；采用*AE950 PCI数据处理器，分辨率达0.6nm（当移动速度为1m/s时，线性分辨率更可*为0.1nm）。
l 无加速度限制；当光线微弱时，性能也十分稳定。
l 信号*<200ns；对电磁干扰不敏感。
l 对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量，请选用ZLM800型双频激光干涉仪，*多可实现六轴联动。
工作原理
*型ZLM700激光干涉仪使用氦氖激光器，采用双频外差式工作模式。激光稳频精度为+/-0.002ppm，640MHz的频差用于信号处理。这种高频处理信号能够对*物体进行测量，不会出现干扰误差，信号*时间*短。
采用光纤电缆，把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上，避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此，ZLM700双频激光干涉仪*适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。
技术参数
型号：ZLM700
AE700数据处理器
AE950数据处理器
He-Ne激光平均波长：
632.8 nm
632.8 nm
激光稳频精度：
一小时：2x10-9（±0.002ppm）
寿命内：2x10-8（±0.02ppm）
一小时：2x10-9（±0.002ppm）
寿命内：2x10-8（±0.02ppm）
系统精度（0-40℃时）：
±0.4ppm
±0.4ppm
线性误差：
±1.25nm（角隅干涉镜）
±0.62nm（平面干涉镜）
±0.3nm（角隅干涉镜）
±0.1nm（平面干涉镜）
采样速度：
内部0.005Hz-40MHz
外部0.001Hz-10MHz，可调
内部0.005Hz-40MHz
外部0.001Hz-10MHz，可调
光束直径：
6mm（可选3.2mm）
6mm（可选3.2mm）
激光管*大功率：
1mW（II级激光）
1mW（II级激光）
预热时间：
12分钟
12分钟
*大速度：
4m/s（可选16m/s），线速度
320rad/s，角速度
1m/s，线速度
80rad/s，角速度
*大加速：
无限制
无限制
速度测量精度：
±0.5ppm实测值
±0.5ppm实测值
位移测量分辨率：
2.5nm（角隅干涉镜）
1.25nm（平面干涉镜）
0.62nm 可选
0.6nm（角隅干涉镜）
0.3nm（平面干涉镜）
0.1nm 可选
位移测量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
线性测量距离：
40m（可选120m）
40m（可选120m）
线性度测量分辨率：
2.5nm（角隅干涉镜）
1.25nm（平面反射镜）
0.62nm 可选
0.6nm（角隅干涉镜）
0.3nm（平面反射镜）
0.1nm 可选
线性度测量精度：
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
角度测量范围：
± 15°，20m轴线范围
± 15°，20m轴线范围
角度测量分辨率：
0.062μrad（3x10-3 角秒）
0.015μrad（3x10-3 角秒）
角度测量精度：
±0.1ppm实测值
±0.1ppm实测值
平面度测量范围：
20m行程
20m行程
平面度测量分辨率：
0.062μrad（3x10-3 弧秒）
0.015μrad（3x10-3 弧秒）
平面度测量精度：
±0.2%实测值
±0.05μrad/米行程
±0.2%实测值
±0.05μrad/米行程
直线度测量范围：
± 5mm，2m或10m行程
选用角度干涉镜可测30m行程
± 5mm，2m或10m行程
选用角度干涉镜可测30m行程
直线度测量分辨率：
145nm，10m行程
29nm，2m行程
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
直线度测量精度：
±0.5%实测值，2m行程
± 2.5%实测值，10m行程
±0.5%实测值，2m行程
± 2.5%实测值，10m行程
垂直度测量范围：
± 5mm，2m或10m行程
选用角度干涉镜可测30m行程
± 5mm，2m或10m行程
选用角度干涉镜可测30m行程
垂直度测量分辨率：
145nm，10m行程
29nm，2m行程
36nm，10m行程
7.25nm，2m行程
垂直度测量精度：
±0.5%实测值± 0.5角秒（2m）
±2.5%实测值± 0.5角秒（10m）
±0.5%实测值± 0.5角秒（2m）
±2.5%实测值± 0.5角秒（10m）
回转轴测量分辨率：
0.00005°
0.00005°
回转轴测量精度
0.00025°
0.00025°
数据接口：
积分信号
32 Bit (实时信号)
信号*小于20 ns
积分信号
32 Bit (实时信号)
信号*小于20 ns
数据分析标准：
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境：
温度：15°C-30°C
湿度：<90%无冷凝
温度：15°C-30°C
湿度：<90%无冷凝
储存环境：
温度：10°C-40°C
湿度：<95%无冷凝
温度：10°C-40°C
湿度：<95%无冷凝
环境补偿器AUK：
环境传感器精度： <0.1 ℃
压力传感器精度： <1.5 hPa
相对湿度精度： <5%
材料传感器精度： <0.05 ℃
环境传感器精度： <0.1 ℃
压力传感器精度： <1.5 hPa
相对湿度精度： <5%
材料传感器精度： <0.05 ℃
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应用光路图
以上为直线度测量示意图，包括水平方向直线度和垂直方向直线度
以上是平面度测量示意图
以上是垂直度测量示意图
以上是位移、线性度、速度、加速度、定位精度测量示意图
以上是对角测量示意图
以上是俯仰角测量示意图
以上是偏摆角测量示意图
以上是滚动角测量示意图
以上是回转台定位精度测量示意图
以上是对长度标准器（长度规）进行标定的应用
ZLM700
德国耶拿尔
