供应微位移测量激光干涉仪

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产品名称:微位移测量激光干涉仪 角度摆动检测干涉仪
产品型号:ZLM800
产品产地:德国
制 造 商:德国耶拿尔测量技术有限公司
 
详细介绍:

    ZLM800微位移测量激光干涉仪——双频激光干涉仪,主要用于微位移部件的测量,角度变化量的监测,移动平台运动情况的检测,及光刻机几何量的测量,数控机床几何量的测量,*多可实现六轴联动。具有以下性能优势
l  真正意义上的双频激光干涉仪,两个光束的频差为640MHz。请用户注意“激光干涉仪”和“双频激光干涉仪”概念的区别,众所周知双频激光干涉仪精度更好、性能更稳定。世界范围内只有两家双频激光干涉仪的生产商,德国耶拿尔公司是其中的一家。
l  *部件皆在德国生产制造,*非为了降*而在第三方*进行部件*。光学组件*采用蔡司光学镜,是世界上*一家将顶级的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的产品制造商。
l   激光器寿命更长,可达20000小时,激光稳频精度高,一小时内为±0.002ppm,在产品寿命内可达±0.02ppm
l  干涉镜采用差分干涉原理,系统精度更高,可达±0.4ppm
l  计算机辅助光路调整,调整结果更准确。
l  采样频率更快,**1MHz,可在0.001Hz-1MHz之间进行选择。
l  被测物体*大速度16m/s(可选);采用*AE950 PCI数据处理器,分辨率达0.6nm(当移动速度为1m/s时,线性分辨率更可*为0.1nm)。
l   无加速度限制;当光线微弱时,性能也十分稳定。
l  信号*<200ns;对电磁干扰不敏感。
l  对于多轴联动的复杂光路测量和微位移测量,ZLM800型是理想的选择

技术参数
型号:ZLM800
使用*数据处理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波长:
632.8 nm
激光稳频精度:
一小时2x10-9±0.002ppm
寿命内2x10-8±0.02ppm
系统精度(0-40℃时):
±0.4ppm
光束直径:
6mm (可选3.2mm)
激光管突发*大输出功率:
1mW (激光等级2)
每束光可测量的轴数:
*多6
线性测量距离:
40m,可扩展为120m
角度测量范围:
± 15°20m轴线范围
平面度测量范围:
20m行程
直线度测量范围:
± 5mm2m10m行程,
选用角度干涉仪可测30m行程
垂直度测量范围:
± 5mm2m10m行程,
30m行程需用角度干涉仪
*大速度:
4m/s可选16m/s
80rad/s,角速度
*大加速:
无限制
*高采样频率:
内部1MHz,外部40MHz
预热时间:
10分钟
精度/非线性:
±0.3nm (角隅反射镜)
±0.1nm (平面反射镜)
距离测量分辨率:
0.6nm (角隅反射镜)
0.3nm (平面反射镜)
0.1nm 可选
距离测量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中时
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
线性度测量分辨率:
0.6nm (角隅反射镜)
0.3nm (平面反射镜)
0.1nm 可选
线性度测量精度:
(20°±0.5°) 使用AUK
(20°±0.5°) 真空中时
 
±0.4ppm (μ/m)
±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度测量精度:
±0.5ppm实测值
角度测量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒)
角度测量精度:
±0.1ppm实测值
平面度测量分辨率:
0.015μrad (3x10-3 弧秒)
平面度测量精度:
±0.2%实测值
±0.05 弧度/米运行距离
直线度测量分辨率:
36nm10m行程
7.25nm2m行程
直线度测量精度:
±0.5%实测值,2m行程
± 2.5%实测值,10m行程
垂直度测量分辨率:
36nm10m行程
7.25nm2m行程
垂直度测量精度:
±0.5%实测值2m± 0.5弧秒*
±2.5%实测值10m± 0.5弧秒*
数据接口:
积分信号
32 Bit (
实时时间)
Dt » 20 ns
数据分析标准:
ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作环境:
温度:15°C-30°C
湿度:<90%无冷凝
储存环境:
温度:10°C-40°C
湿度:<95%无冷凝

应用案例
以下是为*设计的ZLM800双频激光干涉仪两个应用案例。在*个案例中,用两个3轴角度干涉仪分别*两个摆镜的摆动,实时测试两个摆镜对应量(俯仰、偏摆和位移)的差异情况。在第二个案例中,用一个3轴角度干涉仪来测试摆镜的镜面摆动情况,2个单轴位移干涉仪检测一个两轴位移平台的运动情况。


 
以下是为国内某研究所某项目设计的ZLM800测量系统。用户预先把被测物体放置在密闭箱中,密闭箱留有观察窗口。所需要测量的数据是被*目标Ⅰ、被*目标Ⅱ的X、Y向的角度变化量,以及这两个目标在Z方向的相对变化量。


ZLM800部分光路图示例和部件示意图





型号/规格

ZLM800

品牌/商标

耶拿尔