电容位移传感器超精密电容位移传感器

　　电容位移传感器超精密电容位移传感器：该传感器是一种非接触式的电容位移传感器；两个传感器板形成一个平行板电容器，每个传感器可以用在两个不同的测量范围；纳米分辨率；零磁滞。

　　主要特点

　　◆量程20～1250μm；

　　◆分辨率<0.1nm；零磁滞；

　　◆线性最高0.02%；

　　◆频带可调：50～5000Hz；灵敏度可调；

　　◆真空兼容选项；

　　双极性电容传感器工作示意图

电容位移传感器超精密电容位移传感器

型号/规格

ZNXsensor

品牌/商标

ZSY

电容位移传感器 超精密电容位移传感器