埃米级高性能电涡流位移传感器

　　埃米级高性能电涡流位移传感器

　　ZED97是一款专门为客户定制的OEM产品，可测非导磁体和铁磁材料，有1、2或3通道可配电涡流探头。拥有埃米级分辨率，符合CE和ROHS标准，尺寸小巧，并可配13种电涡流探头。同时材料、线性、分辨率、带宽各种性能可自行优化。

　　客户咨询时需填写的7个问题:

　　1.被测物材质、大小和形状

　　2.校准量程

　　3.分辨率

　　4.线性度

　　5.热灵敏度

　　6.重复性

　　7.传感器的电缆长度

　　应用领域

　　光学平台位置测量、半导体和光器件的研磨、半导体模板对齐系统、蒸镀系统、电子显微镜垂直轴定位、原子显微镜垂直轴定位、磁悬浮轴控制、部件研磨加工的精确定位、镜片控制、物质收缩测试测量、机械结构变形探测与测试。

　　主要特点

　　◆尺寸小巧

　　◆米级分辨率

　　◆有1、2或3通道可配电涡流探头

　　◆可配13种电涡流探头

　　◆工作温度：0～70?C(补偿范围15～55?C)

　　◆符合CE和RoHS标准

　　◆输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)

　　◆供电电压：15～30V，<50mA(有容错保护、短路保护)

　　主要特点

　　◆尺寸小巧

　　◆埃米级分辨率

　　◆有1、2或3通道可配电涡流探头

　　◆可配13种电涡流探头

　　◆工作温度：0～70?C(补偿范围15～55?C)

　　◆符合CE和RoHS标准

　　◆输出负载电流<20mA(有短路和过载保护)

　　◆供电电压：15～30V，<50mA(有容错保护、短路保护)

　　技术规格