直接热式质量流量计 直接热式质量流量计控制器

地区:陕西 西安
认证:

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AX10FC直接热式MFC/MFM采用热式测量原理,直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件,并采用哈氏合金传感器,V10FC可用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用,AX10FC也同样适用。
AX10FC直接热式MFC/MFM与其它差压原理的V10FC一样,具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。

产品应用

产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,*及各种分析,科研院所实验设备。

产品特点

● 直接热式原理,无层流元件
● 无压损,*结晶,*腐蚀
● 适用于各种低压和高压管道
● *测量和控制气体的质量流量
● 预热时间短,*漂小,*性高
● 多种气体可选,也可自行输入

技术参数

技术指标

AX10FC-RC质量流量控制器

AX10FC-RM质量流量控制器

量程范围

小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~2000SLM

控制范围

控制器20:1

流量计20:1

准 确 度

流量:±3%F.S 压力:0.5% F.S 温度:±1℃

线 性

±0.5%F.S

重复精度

±0.2%F.S

响应时间

100ms

10ms

数 字 量

RS232/485,MODBUS协议

模 拟 量

0~5V、4~20mA、1~5V

供电

12V/24V/±15V可选

工作温度

0~50℃

工作压力

工作压差:0.03~0.5MPa

工作压降:<0.01Mpa

*大耐压

低压1MPa,中压3MPa,高压10MPa

电气连接

DB15孔

漏 率

1×10-9SccsHe

温度系数

±0.015%F.S/℃

底座材质

316L

密封材料

氟橡胶,氯丁橡胶,丁晴橡胶

接 头

VCR1/4;swagelokφ6

品牌/型号

AX10FC

类型

容积式流量计