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产品属性
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AX10FC-L采用无热漂移,无响应滞后的差压质量测量原理,可以同时显示和输出:瞬时流量、累计流量、压力、温度等。当需要控制功能时,还可以加装电磁比例调节阀和内置PID调节功能。
显示器、键盘、通讯和多变量输出均是标准配置,具有手操器/显示仪/积算仪的*功能。通过面板操作,可以完成以下内容:气体选择、单位选择、量程设定,报警点设定,阀门状态、自动校准等。
与热式流量计不同,当使用气体转换系数时,V10FC-L没有附加的“比热容”误差。所以,即使测量气体与出厂时的标定气体不同,也不会影响测量精度。
产品应用
产品广泛用于真空,镀膜,太阳能,半导体,石油石化,煤炭冶金,制气配气,*及各种分析仪器等。
产品特点
● 普通低压型,适于1Mpa以下非腐蚀的清洁气体
● 无热漂移,可以忽略的温移和时漂,长期稳定性0.1%F.S/年
● 准确度0.8%,量程可在100:1范围内按键设定,无需标定
● 瞬时和累计流量、压力、温度可同时显示和输出
● 无需预热,测量时无响应滞后
● 内置31种气体转换系数,*热容附加误差,不影响精度
● 自动累计,分段累计功能
技术指标 | AX10FC-LC质量流量控制器 | AX10FC-LM质量流量计 |
量程范围 | 小量程:5SCCM~10SLM 中量程:10SLM~30SLM 大量程:30SLM~250SLM | |
控制范围 | 控制器50:1 | 流量计100:1
|
准 确 度 | 流量:±0.8%读数±0.2%满量程 | |
可选±0.4%读数±0.2%满量程 | ||
压力:0.5%F.S 温度:±1℃ | ||
线 性 | ±0.5%F.S | |
重复精度 | ±0.2%F.S | |
响应时间 | 100ms | 10ms |
数 字 量 | RS232/485,MODBUS协议 | |
模 拟 量 | 0~5V、4~20mA、1~5V | |
供电 | 12V/24V/±15V可选 | |
工作温度 | 0~50℃ | |
工作压力 | 工作压差:0.03~0.5MPa | 工作压降:<0.01Mpa |
*大耐压 | 1MPa | |
电气连接 | DB15孔 | |
漏 率 | 1×10-9SccsHe | |
温度系数 | ±0.015%F.S/℃ | |
底座材质 | 316L | |
密封材料 | 氟橡胶,氯丁橡胶,丁晴橡胶 | |
接 头 | VCR1/4;swagelokφ6 |
容积式流量计