薄膜应力测量仪--北京特博万德科技有限公司

晶圆平整度曲率应力测量仪--德国OEG的详细描述：

德国OEG公司成立于1991，设计制造高端精密的光学和半导体领域仪器设备。

主要产品：MTF测试系统

         光学测量工作站OTS 200

         精密金刚石划片机MR200

         Flatscan晶圆平整度应力和表面曲率测量仪

         电子准直镜

         晶圆线宽和特征尺寸测量仪

         接触角/表面张力/表面自由能测量仪

更多产品信息请来电咨询。

光学非接触表面测量仪，能进行大范围的2D和3D测量，可测量晶圆应力（薄膜应力），表面半径曲率和斜坡。

 TTV，Bow, Warp.

FLATSCAN：主要用于各种像硅、镜片、金属和抛光聚合物等反射表面的非接触测量，可测量平整度、表面曲率、平均半径和应力。光学测量原理保证了高精度，是通过测量垂直入射激光束的反射角，表面状态能通过测量点发射角的改变精确测量。

就半导体行业而言，是通过镀膜前后的对半径的计算测量应力。

大测量的范围：测量直径最大200mm

高测量精度：0.1arcsec, 100nm

选件：2D3D测量

技术参数：