压电物镜驱动器

压电物镜定位器

压电物镜定位器是专门为聚焦显微而设计的，采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，物镜补偿量小，具有超高聚焦稳定性，物镜定位器装入显微检测/测量或者观测装置可以带动镜片聚焦提高精度，可与多种高分辨率的显微镜配合使用。

P73-压电物镜定位器为小体积大行程压电物镜定位器，内置高性能压电陶瓷，闭环精度高，响应速度快、满行程线性度达纳米量级，可进行激光聚焦，已广泛应用与晶圆切割、半导体及微电子加工领域。

特点：

运动范围500μm

定位精度达纳米级

响应速度可达毫秒级

直线运动无偏航

应用：

晶圆切割  生物显微  白光干涉  原子力显微镜  差动聚焦检测系统   显微光学成像

哈尔滨芯明天科技有限公司产品已广泛应用于半导体技术、光电子、通信与集成光学、光学仪器设备、医疗生物显微设备、生命科学、精密加工设备、新药设计与医疗技术、数据存储技术、纳米技术、纳米制造与纳米自动化、航空航天、图像处理等领域。芯明天正在为中国的工业自动化、国防、航天事业的发展贡献着自己的力量。